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★ 電子氣體：惰性氣體、硅族氣體、鹵化物或鹵化物氣體、氟碳?xì)怏w、含硼、磷、砷等原子氣體；
★高純氯氣、氨氣、氖氣、氪氣、三氯氫硅、四氟化碳、六氟化硫、鍺烷、高純鍺烷、氯化氫、氧化亞氮、氧硫化碳（COS羰基硫）、乙硼烷、砷烷、高純砷烷、磷烷、高純磷烷、硅烷、二氯二氫硅、高純?nèi)然稹⒏呒冧寤瘹洹⒏呒円夜柰椤朔h(huán)丁烷、甲烷、一氧化二氮、電子級(jí)正硅酸乙酯、電子級(jí)氧化亞氮、六氯乙硅烷和四氯化硅等。
★半導(dǎo)體電子特氣：超純氨、高純氧化亞氮、正硅酸乙酯、高純二氧化碳、八氟環(huán)丁烷、六氟丁二烯、一氟甲烷、硅烷混合氣等；
★制備高純電子氣體純化技術(shù)、電解技術(shù)、電解電源、凈化技術(shù)、高精度分析檢測(cè)技術(shù)、氣體潔凈充裝技術(shù)、高純混合氣體配制系統(tǒng)、電子氣體輸送系統(tǒng)、管道與運(yùn)輸技術(shù)等。
惰性氣體、硅族氣體、鹵化物或鹵化物氣體、含硼、磷、砷等原子的氣體，以及氟碳?xì)怏w；
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